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首頁-產(chǎn)品系統(tǒng)--納米壓印配套設(shè)備-150mm&300mm 全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備

150mm&300mm 全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào)：

簡(jiǎn)要描述：GL150 PreNIL & GL300 PreNIL，150mm&300mm 全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備，Cassette to cassette機(jī)械手自動(dòng)上下片，包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。

  • 廠家實(shí)力

    Manufacturer Strength

  • 有效保修

    Valid Warranty

  • 質(zhì)量保障

    Quality Assurance

詳細(xì)介紹

全自動(dòng)納米壓印光刻基底預(yù)處理；

Cassette to cassette機(jī)械手自動(dòng)上下片，包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能；

毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗；

旋涂勻膠，包含自動(dòng)供膠系統(tǒng)、EBR、BSR等功能；

熱板烘烤、冷板冷卻功能；

可選配Plasma表面處理功能。

 

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